多晶硅生產(chǎn)剛需：德高潔自動化清洗系統(tǒng)保障電子級潔凈度

多晶硅還原爐鐘罩表面易沉積副產(chǎn)物，影響生產(chǎn)質(zhì)量，需定期清洗。人工清洗因殘留物具腐蝕性、反應(yīng)放熱易引發(fā)安全隱患，且需嚴(yán)格操作。德高潔研發(fā)自動化高壓水清洗系統(tǒng)，由多裝置組成，通過水力驅(qū)動三維噴頭 360° 清洗，搭配堿液、純水沖洗及熱風(fēng)烘干，全流程自動化。系統(tǒng)采用 PLC 控制，可調(diào)節(jié)參數(shù)，全封閉作業(yè)避免污染。

多晶硅是光伏行業(yè)和微電子行業(yè)的基礎(chǔ)材料，生產(chǎn)多晶硅主要采用改良西門子法，改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的反應(yīng)器主要采用多晶硅還原爐。在多晶硅生產(chǎn)過程中，還原爐鐘罩表面上會沉積一定厚度的多晶硅副產(chǎn)物、硅粉等。但多晶硅生產(chǎn)對還原爐沉積環(huán)境的潔凈度要求特別關(guān)鍵，任何顆粒性雜質(zhì)、物料等物質(zhì)余留在爐內(nèi)，都會對產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。所以在還原爐運行一個周期結(jié)束后，需要對還原爐鐘罩內(nèi)部進(jìn)行徹底清洗后，再進(jìn)行下一個周期的化學(xué)氣相沉積。

一、多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)部殘留清洗原理及挑戰(zhàn)

殘留物的主要化學(xué)成分是Si，能和氫氧化鈉發(fā)生氧化還原反應(yīng)，其他物質(zhì)有SiO2、(HSiO)2O等，均含弱酸性易與氧化鈉溶液發(fā)生中和反應(yīng)。利用氫氧化鈉溶液，將緊密附著在還原爐內(nèi)表面的膜狀沉積物腐蝕以便清理，在此清洗原理下，對多晶硅還原爐清洗時需要面臨以下問題：
 
1、因還原爐內(nèi)殘留物及清洗液均為具有腐蝕性的化學(xué)物質(zhì)，同時在清洗中殘留氯硅烷會發(fā)生水解伴有氫氣產(chǎn)生，且水解反應(yīng)為強(qiáng)烈的放熱反應(yīng)，容易產(chǎn)生爆鳴燃燒。因此，人工清洗過程中具有一定的安全隱患，清洗過程中必須穿戴好勞保用品，并佩戴防護(hù)手套；
2、人工用氧化鈉溶液擦洗還原爐鐘罩時，必須操作要緩慢以免摩擦生熱引起著火；
3、清洗中要保證將鐘罩烘烤干避免有殘留水分，影響下一批次的生產(chǎn)周期及產(chǎn)品質(zhì)量。

二、多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)部自動清洗方式

由于多晶硅還原爐鐘罩的清洗存在一定的安全隱患，行業(yè)內(nèi)需要提供一套安全高效的清洗方式，德高潔結(jié)合多晶硅生產(chǎn)工藝及設(shè)備需求，獨立自主研發(fā)了一套自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)，其由高壓熱水動力清洗裝置，熱風(fēng)凈化烘干機(jī)組、清洗烘干工作臺、PLC電氣控制系統(tǒng)等組成，自動化完成還原爐鐘罩內(nèi)部的清洗及烘干流程，減少人工投入，提高清洗效率、質(zhì)量、環(huán)保、安全等性能。

自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)整個清洗流程包括：還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走。其工作原理是以水力自驅(qū)動三維自動旋轉(zhuǎn)噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，最后用高純水沖洗后烘干，最終完成整個清洗過程。
 
還原爐鐘罩清洗過程中，一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，清洗時鐘罩底部法蘭和清洗平臺組成一個全封閉空間，避免高壓水射流噴射出鐘罩外，對周圍環(huán)境及工作人員健康的負(fù)面影響。德高潔多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)，采用PLC電氣控制系統(tǒng)，可根據(jù)多晶硅實際生產(chǎn)實況調(diào)整清洗壓力、流量及清洗時間，在保障清洗質(zhì)量的同時，節(jié)約水資源的浪費，系統(tǒng)同時具有半自動或手動功能，提高工人的適應(yīng)性。

德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)操作簡單，設(shè)備安全穩(wěn)定，其核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口保證了電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能的可靠，可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內(nèi)90%的用戶，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)，經(jīng)驗豐富，技術(shù)可靠。
 
德高潔作為一家專業(yè)的環(huán)保清潔設(shè)備供應(yīng)商，在環(huán)保除塵、凈化、工業(yè)設(shè)備清潔領(lǐng)域已積累了近三十年的業(yè)內(nèi)寶貴經(jīng)驗，自2007年便致力于研發(fā)高效率、高環(huán)保、高質(zhì)量的自動化系統(tǒng)，期間自主研發(fā)并投入使用了一系列高壓水自動化清洗系統(tǒng)，可對液壓支架、噸桶、罐車、反應(yīng)釜、罐式集裝箱、儲罐、發(fā)酵罐、多晶硅還原爐鐘罩等設(shè)備進(jìn)行自動化清洗，并結(jié)合企業(yè)實際生產(chǎn)工況，提供可定制化自動清洗解決方案，做到以客戶需求為基準(zhǔn)，用現(xiàn)代技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)工藝，竭誠為客戶服務(wù)。